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中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束 关键拼图“填补”中国芯

2026-01-18 05:48:28 91507

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　　是半导体制造不可或缺的，中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，月，由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机、四大核心装备。

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　　核心指标达到国际先进水平，攻克功率半导体制造链关键环节，打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断、将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，记者。完，成功出束，离子注入机与光刻机，其研发难度大。(掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力) 【设备:技术壁垒高】


中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束 关键拼图“填补”中国芯


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