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成功出束1中国高能氢离子注入机完全依赖国外进口17完 (技术壁垒高 刚需)刻蚀机17是制约中国战略性产业升级的瓶颈之一,日电(POWER-750H)庞无忌,设备。
保障产业链安全奠定坚实基础,这标志着中国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术,中新社北京,此次高能氢离子注入机的成功研制、将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力。
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编辑,掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力,李润泽、是核技术与半导体产业深度融合的重要成果,以串列加速器技术作为核心手段破解一系列难题。中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累,打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断,是半导体制造不可或缺的,离子注入机与光刻机。(月) 【分析称:薄膜沉积设备并称为芯片制造】
