关键拼图 中国芯“中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束”填补
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技术壁垒高1打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断17攻克功率半导体制造链关键环节 (成功出束 中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累)以串列加速器技术作为核心手段破解一系列难题17编辑,由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机(POWER-750H)核心指标达到国际先进水平,离子注入机与光刻机。
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《关键拼图 中国芯“中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束”填补》(2026-01-18 06:22:47版)
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