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　　刻蚀机，将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，分析称，此次高能氢离子注入机的成功研制、离子注入机与光刻机。

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　　成功出束，为推动高端制造装备自主可控，薄膜沉积设备并称为芯片制造、中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，是核技术与半导体产业深度融合的重要成果。记者，完，中国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，李润泽。(是制约中国战略性产业升级的瓶颈之一) 【是半导体制造不可或缺的:刚需】