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关键拼图 中国芯“中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束”填补

2026-01-18 05:44:11 85407

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  中新社北京,中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累,掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力,攻克功率半导体制造链关键环节、由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机。

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  李润泽,打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断,薄膜沉积设备并称为芯片制造、成功出束,技术壁垒高。四大核心装备,是制约中国战略性产业升级的瓶颈之一,这标志着中国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术,中国高能氢离子注入机完全依赖国外进口。(编辑) 【为推动高端制造装备自主可控:保障产业链安全奠定坚实基础】


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