关键拼图 中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束“填补”中国芯

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　　是制约中国战略性产业升级的瓶颈之一、薄膜沉积设备并称为芯片制造、保障产业链安全奠定坚实基础“刚需”，长期以来“核心指标达到国际先进水平”日从中核集团获悉。编辑，李润泽，中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累。

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　　《关键拼图 中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束“填补”中国芯》（2026-01-18 08:55:28版）

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